钛的显著特点是耐腐蚀性强，这是由于它对氧的亲合力特别大，能在其表面上生成一层致密的氧化膜，可保护钛不受介质腐蚀。金属钛在大多数水溶液中，都能在表面生成钝化氧化膜。因此，钛在酸性、碱性、中性盐水溶液中和氧化性介质中具有很好的稳定性，比现有的不锈钢和其它有色金属的耐腐蚀性都好，甚至可与铂比美。

钛材料锻造是一种对钛金属坯料(不包括板材)施加外力以使其产生塑性变形、改变尺寸、形状并提高性能的成形方法，用于制造机械零件、工件、工具或坯料。此外，根据滑块的运动模式和滑块的垂直和水平运动模式(用于细长零件的锻造、润滑冷却和高速生产零件的锻造)，通过使用补偿装置可以增加其它方向的运动。

钛靶材的基本性能要求      

①纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。